微納米復合銅漿燒結陶瓷基覆銅板和陶瓷基板

- 背景:目前陶瓷覆銅板形成主要有HTCC高溫共燒多層陶瓷、LTCC 又稱為低溫共燒多層陶瓷基板、DPC直接敷銅技術、DBC直接鍍銅基板等方式,這些方式中HTCC\LTCC都屬於燒結工藝,成本都會較高,而DBC是利用高溫加熱將陶瓷基材與Cu板結合,其技術瓶頸在於陶瓷基材與Cu板間微氣孔產生。而DPC技術則是利用直接鍍銅技術,將Cu沈積於陶瓷基材之上,其工藝結合材料與薄膜工藝技術,然而其材料控製與工藝技術整合能力要求較高。

而且隨著銅厚的增加,生產效率下降以及製作成本增加。用於高可靠性應用場景的陶瓷基板長期依賴國外進口,交期長,價格昂貴。

- 解決方案:采用微納米復合銅漿燒結而成,具有銅厚可調、高溫強度高的特點,可靠性俱佳,可彌補125μm以下,陶瓷基覆銅板的市場空缺。同時基板製作過程比較簡單,成本較低,交期縮短。實現陶瓷覆銅板和陶瓷基板供應本土化。

- 改善效果:樣品測試通過,可用於中小批量生產

· 使用門檻低:采用微納米復合銅漿燒結就可以形成陶瓷覆銅板,在陶瓷覆銅板的基礎上采用現有蝕刻製程條件即可完成線路

· 生產投資少:機器設備耗材投入少,對廠房空間要求低,製作過程簡單,實現節能增效綠色生產的要求

· 銅厚範圍寬:延伸至125μm以下,填補DBC和AMB市場缺口

· 製程效率高:50μm以上直接蝕刻,無需長時間電鍍加厚,縮短了交付時間

· 可靠性高:熱循環老化優於DPC工藝

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微纳米复合铜浆烧结陶瓷基覆铜板和陶瓷基板