產品介紹:
玻璃基板具有高結構完整性、低電損耗、抗振動、耐溫性和環境耐久性等特點,在半導體封裝三維堆疊的芯片結構中,玻璃轉接板具有優良的電絕緣性、低廉的製造成本以及良好的工藝兼容性,但是玻璃通孔TGV進行可靠地金屬填充具有很大的挑戰性。采用傳統濺射電鍍的孔金屬化方案,容易附著力不佳、填銅不飽滿等諸多問題。百柔新材采用自主開發的銅漿塞孔技術可以實現玻璃基的孔金屬化加工,工藝製程簡單、填塞飽滿、附著力好、成本極低。目前可以穩定實現25~150um玻璃通孔TGV過孔金屬化,同時也與激光設備商的深度合作,利用激光誘導深度蝕刻的方法,實現高厚徑比的微小玻璃通孔製造。
本產品采用微小粒徑的銅漿燒結而成,電阻率和可靠性俱佳。通過添加高溫粘結劑和特種填料,可以進一步調整孔銅和界面的熱膨脹系數,實現高可靠性的孔金屬化。
工藝流程:
工藝特點:
• 塞孔工藝效率高、質量好、成本低
• 實現高厚徑比的小孔徑低電阻導通
• 實現低熱膨脹系數的孔銅和界面層高可靠性附著
• 耐常規化學腐蝕,耐熱應力,可焊性良好
• 可正常進行化學蝕刻、表面處理等再加工製程且穩定可靠
• 通過300℃熱沖擊測試,1000次熱循環後無失效,附著力依舊穩定
工藝優勢:
• 綠色環保,減少了傳統濺射和電鍍大型設備和資金投入
• 工藝簡單,通過印刷方式填充導電金屬漿料實現玻璃通孔TGV金屬化
• 結合力好,玻璃通孔TGV金屬漿料中含有玻璃粉體,提高了金屬與玻璃的結合力
• 可以實現高厚徑比的玻璃通孔TGV孔的金屬化加工難題 ,最大塞孔厚徑比高達20:1
• 製程便捷,加工周期短,僅僅印刷+燒結+研磨三個步驟即可實現。
加工能力:
| 中鋁玻璃 | 高鋁玻璃 | 硼矽玻璃 | 石英玻璃 |
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熱膨脹系數 | 7ppm/℃ | 5ppm/℃ | 3.5ppm/℃ | 0.5ppm/℃ |
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軟化點 | ∽500℃ | ∽600℃ | ∽800℃ | ∽1700℃ |
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尺寸 | <250mmX350m | <250mmX350m | <250mmX350m | <250mmX350m |
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厚度 | 0.25∽2mm | 0.25∽2mm | 0.2∽1mm | 0.1∽1mm |
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孔徑 | 0.03∽1mm | 0.03∽1mm | 0.02∽1mm | 0.02∽1mm |
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深徑比 | <20:1 | <20:1 | <20:1 | <20:1 |
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應用場景:
玻璃通孔TGV應用前景廣闊,TGV可應用在光通信、射頻模塊、光電系統集成、MEMS封裝、電子氣體放大器、設備治具、醫療器械等領域。在玻璃通孔TGV的塞孔銅漿可以與封裝基板或PCB板等的金屬實現異質互聯,從而實現多維封裝。
加工效果: