陶瓷通孔TCV金屬化加工

產品介紹:

· 陶瓷穿孔互連技術 (TCV,Through r通徹:連 Via)簡稱TCV,是一種應用於高密度三維封裝的 l 新型互連技術。采用傳統沈銅電鍍的陶瓷基板孔金屬化方案,容易出現孔內殘液、附著力不佳、填銅不飽滿等諸多工藝難點。采用銅漿塞孔的技術實現陶瓷基的孔金屬化,工藝製程簡單、填塞飽滿、附著力好、成本極低

· 百柔采用微納米復合銅漿燒結而成,電阻率和可靠性俱佳。通過添加高溫粘結劑和特種填料,可以進一步調整孔銅和界面的熱膨脹系數,實現高可靠性的孔銅

 

工藝流程:

陶瓷通孔TCV金属化加工

工藝特點:

• 深徑比範圍寬,漿料流動性好,孔壁附著完整

• 幹法製程,避免化銅帶來的藥水殘留

• 製程效率高,只印刷就可完全填塞所有孔

• 可靠性高,熱膨脹系數可調

• 真空塞孔工藝效率高、質量好、成本低

• 電阻率接近純銅實現大電流的有效導通

• 低熱膨脹系數的孔銅和界面層實現高可靠性  

工藝優勢:

• 介電系數較小,高頻特性好,可以降低信號延遲時間

• 熱膨脹系數更接近矽,無機基板材料熱膨脹系數普遍低於有機基板材料

• 耐熱性能強,無機基板材料玻璃化溫度普遍高於有機基板材料,在熱沖擊和熱循環過程中不易損傷

• 熱導率高,可以將高集成度封裝產生的熱量及時排出

• 機械強度高,有良好的尺寸穩定性,使元器件安裝精度高

• 化學穩定性強,在加工過程中能耐酸、堿、有機溶劑的浸蝕,不產生變色、溶脹等特性變化

• 絕緣性能好,可靠性高

加工能力:

基材

氧化鋁

氮化鋁

熱膨脹系數

6.8 ppm/K

4.7 ppm/K

導熱系數

 w/m·k

170 w/m·k

尺寸

<182X182mm

<12320X120mm

厚度

0.25∽1mm

0.15mm∽0.63mm

孔徑

>60μm

>60μm

深徑比

<10:1

<10:1

孔邊距

>0.1mm

>0.1mm

 應用場景:

· 大功率電力電子模塊,太陽能電池板組件等

· 高頻開關電源、固態繼電器

·  汽車電子、激光、CMOS圖像傳感器

· 大功率LED照明產品

· 通信天線,汽車點火器

加工效果:

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