產品介紹:
· 陶瓷穿孔互連技術 (TCV,Through r通徹:連 Via)簡稱TCV,是一種應用於高密度三維封裝的 l 新型互連技術。采用傳統沈銅電鍍的陶瓷基板孔金屬化方案,容易出現孔內殘液、附著力不佳、填銅不飽滿等諸多工藝難點。采用銅漿塞孔的技術實現陶瓷基的孔金屬化,工藝製程簡單、填塞飽滿、附著力好、成本極低
· 百柔采用微納米復合銅漿燒結而成,電阻率和可靠性俱佳。通過添加高溫粘結劑和特種填料,可以進一步調整孔銅和界面的熱膨脹系數,實現高可靠性的孔銅
工藝流程:
工藝特點:
• 深徑比範圍寬,漿料流動性好,孔壁附著完整
• 幹法製程,避免化銅帶來的藥水殘留
• 製程效率高,只印刷就可完全填塞所有孔
• 可靠性高,熱膨脹系數可調
• 真空塞孔工藝效率高、質量好、成本低
• 電阻率接近純銅實現大電流的有效導通
• 低熱膨脹系數的孔銅和界面層實現高可靠性
工藝優勢:
• 介電系數較小,高頻特性好,可以降低信號延遲時間
• 熱膨脹系數更接近矽,無機基板材料熱膨脹系數普遍低於有機基板材料
• 耐熱性能強,無機基板材料玻璃化溫度普遍高於有機基板材料,在熱沖擊和熱循環過程中不易損傷
• 熱導率高,可以將高集成度封裝產生的熱量及時排出
• 機械強度高,有良好的尺寸穩定性,使元器件安裝精度高
• 化學穩定性強,在加工過程中能耐酸、堿、有機溶劑的浸蝕,不產生變色、溶脹等特性變化
• 絕緣性能好,可靠性高
加工能力:
基材 | 氧化鋁 | 氮化鋁 |
熱膨脹系數 | 6.8 ppm/K | 4.7 ppm/K |
導熱系數 | w/m·k | 170 w/m·k |
尺寸 | <182X182mm | <12320X120mm |
厚度 | 0.25∽1mm | 0.15mm∽0.63mm |
孔徑 | >60μm | >60μm |
深徑比 | <10:1 | <10:1 |
孔邊距 | >0.1mm | >0.1mm |
應用場景:
· 大功率電力電子模塊,太陽能電池板組件等
· 高頻開關電源、固態繼電器
· 汽車電子、激光、CMOS圖像傳感器
· 大功率LED照明產品
· 通信天線,汽車點火器
加工效果: